真空用６軸ゴニオメータ

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真空用６軸ゴニオメータ

真空中でのX線解析、分光分析など、精密位置、角度制御を必要とする試料観察ステージとして対応可能です。６軸全て真空用ステッピングモータにより精密駆動し、外部よりパソコンで操作できます。大型放射光施設（SPring-８）にて使用されています

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