各種真空コンポーネント
標準の装置以外にもお客様のニーズに併せたさまざまな真空装置の設計、製作も行っています。また、真空装置に使用するフランジ、バルブ等も制作しています。
- 超高真空用ゴニオメーター
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超高真空で試料を最適な位置に高精度で移動が可能です。
- 超高真空用XYθZテーブル
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超高真空中で1μm単位での移動が可能です。各種表面解析、位置決めに使用できます。
- DPRF
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超高真空下に外部より回転動作を導入できます。超高真空装置にクライオスタット等を導入するのに用います。
- ウォーブルスティック
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超高真空領域下で試料をチャックし、直線及び角度を振るウォーブルスティックです。
- Kセル
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低温用から高温用まで、蒸発温度の異なる試料に対応します。超高真空中での使用が可能で、るつぼ内の均熱性も優れています。
- 直線・回転導入機
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真空槽内の処理物や内部機構を外部から操作する導入器です。直線・回転導入機を各種とり揃えています。
- 真空用3軸ウェハ搬送ロボット
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超高真空中（１０－１０torr）で駆動するウェハ搬送ロボットです。R軸（伸縮軸）、θ軸（旋回軸）、Z軸（昇降軸）それぞれに対応したステッピングモータの回転運動をギア等を用いてR、θ、Z軸方向の運動に変換し駆動させます。
- 超高真空チャンバーUHC-３５
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表面構造解析装置、MBE装置をはじめ、各種実験に的確に対応する超高真空チャンバーをオーダーメイドで製作しています。
- CFベローズニップル
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ベローズカバーなしのもの、伸縮量は±１０以上のものも作製しております。 寸法表・仕様
- 真空パイプ
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両側固定フランジタイプ、Φ２５３以上のタイプ、シールドタイプの作製も行っております。また面間距離はご用命に応じます。 寸法表・仕様
