ISシリーズ

真空装置のご案内

真空封止装置 [ISシリーズ]

ISシリーズの概要

ISシリーズはインライン方式の量産用真空封止装置です。
装置は予備加熱室、封止室、冷却室により構成されています。
各プロセスを別々で処理することにより、タクトタイムを短縮し、製品の高品質化、安定生産を実現しました。
プログラム制御により全自動で処理します。

特徴
  • アユミ独自のヒーターにより、真空中あるいは任意のガス雰囲気中、短時間で大量のワークを気密封止することが可能です。
  • 独自の加熱方式により良好な温度分布が得られます。
  • 操作が自動なので人手が不要です。
  • ロット間のバラツキがなく歩留まりが良好です。
  • ランニングコストが安価です。
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