接合装置のご案内
高温領域から常温までの温度域で、基板同士の直接接合から接着剤等の中間材のある接合まで幅広い接合装置をご提案いたします。
接合の種類
- 常温接合
- 樹脂接合
- 表面活性化接合
- ガラス同士の接合
- 陽極接合
- 共晶接合
アプリケーション
- ウエハレベルパッケージ
- ジャイロセンサ
- レーザー発振子
- ３次元実装
- 光スイッチ
- ディスプレイ
- 加速度センサ
- 光MEMS
- プローバリングヘッド
- IRセンサ
- μ-TAS
- インクジェットヘッド
- 圧力センサ
- LED
- マイクロモーター
- RFスイッチ
- 加熱接合装置の概要
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基板同士を加熱雰囲気で接合を行う装置です。温度、加重を印加することで基板を接合します。試作装置から量産装置までさまざまな装置をご提案いたします。 TB-60のご紹介 TB-80Rのご紹介 TB80-RCのご紹介
