アユミ工業株式会社 -真空技術で社会に貢献するグローバル企業-

加熱接合装置のご紹介

特徴

• 陽極接合、共晶接合、ガラス接合、フリットガラス接合、直接接合、樹脂接合、接着剤接合向け量産装置です。
• 完全自動化をはかり、量産性を向上させました。
• 当社独自の加熱方式を採用し急速加熱、急速冷却ができます。
• 基板を直接加熱でき、ヒーター温度と基板温度差を極力抑えた構造を採用しています。
• アライメント装置との併用で高精度アライメントに対応可能です。
• オプションでPCによるレシピ管理、データロギング管理が可能です。
• オプションで陽極接合機能を付ける事ができます。

TB-60のご紹介

TB-80Rご紹介

加熱接合装置TB-60の量産性を高めた装置です。
自動搬送対応で、接合室の雰囲気を一定に保つことで量産性アップを実現しました。最大8インチ基板の接合に対応しています。基板の冷却を真空、またはガスの中で行うことができます。

TB-80RCのご紹介

TB-80Rをカセット to カセット対応した装置です。
自動で連続処理を行ない省力化が図れます。カセットに１０セットまで搭載できます。