各種フラットパネルディスプレイ製造装置
- FED排気封止装置の概要
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型式:AB-60M
FED基板を真空中で高精度アライメントの後、真空封止する装置です。 装置はロードロック室、洗浄室、アライメント・封止室により構成されており、 全工程を大気開放することなく連続処理することができます。 高真空中でのアライメント精度は5μm以下を実現しています。
- PDP封止排気装置の概要
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型式:PB-4500
最大60インチパネルを10枚処理できる排気封止装置です。 パネルはカセットに収納され、炉内排気管接続で、熱風循環方式により、 ±5℃の温度分布を実現しています。 排気圧力上昇インターロックを標準装備しています。
- FED輝度検査装置の概要
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型式:VEA-300
10-8Paの超高真空中でカソード基板、アノード基板の位置あわせを行いエミッター電流の輝度、分布を測定する装置です。基板のアライメントは光学系によりアライメントマークを観察して行います。
測定中に基板間のギャップ調整を行うことができます。またロードロック室増設することにより高速処理を行うことが可能です。