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各種真空装置

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超高真空装置，MBE装置
さまざまな超高真空装置の設計製作を行います。表面解析装置から成膜装置まで、ゴニオメータ、マニピュレータ、低温から高温までの基板加熱等のご要求にお答えいたします。
成膜装置／CVD装置，真空蒸着装置，スパッタリング装置
CVD、真空蒸着、スパッタリング装置等実験用成膜装置を取り揃えています。熱CVD装置、DCプラズマCVD装置等のご提案もいたします。
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