アユミ工業株式会社 -真空技術で社会に貢献するグローバル企業-

接合装置と合わせて使用するアライメント装置です。専用ジグを用いて、光学系によりアライメントを行います。
簡易タイプから自動挿入、自動アライメントまでさまざまなニーズにお答えいたします。
また超高精度サブミクロンアライメント装置も提案しています。

AL-60MS

簡易型手動アライメント装置
コストパフォーマンスを追及

陽極接合用アライメント装置です。専用ジグを用いて、光学系によりアライメントを行います。
機能を限定しコストパフォーマンスを追求。実体顕微鏡によるアライメントを行います。

AL-60M

手動高精度高機能アライメント

CCD光学系によりアライメントを行います。
可視光タイプから赤外光タイプまで選択できます。
自動画像処理オプションも可能です。

AL-60A

完全自動アライメント装置 － サブミクロンアライメント対応 －

カセットtoカセットタイプのアライメント装置。
カセットに挿入された基板の自動アライメントを行います。
ジグもカセットに挿入し全自動アライメントを行います。
オプションで接合装置への自動搬送も可能です。