有機物蒸着装置
- グローブボックス付き 有機物用真空蒸着装置
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研究開発、有機物向け蒸着装置です。
独自開発の蒸着源を標準装備し、膜厚の制御が簡単に行えます。
蒸着装置、グローブボックスユニットが独立しており、マスクアライメント装置付グローブボックスや蒸着室の拡張を簡単に行うことができます。 グローブボックス付き 有機物用真空蒸着装置
- 材料評価用 有機物用真空蒸着装置
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材料評価サンプル作製用途廉価タイプの有機物用真空蒸着装置です。
蒸着源に独自開発のボートを採用し、被蒸着物の突沸を激減することに成功しました。被蒸着物の指向性を向上させ、無駄のない成膜ができます。 材料評価用 有機物用真空蒸着装置