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材料評価用有機物用真空蒸着装置

（有機物真空蒸着装置）

材料評価用有機物用真空蒸着装置

VEC-40

材料評価サンプル作製用途廉価タイプの有機物用真空蒸着装置です。蒸着源に 独自開発のボートを採用し、被蒸着物の突沸を激減することに成功しました。 被蒸着物の指向性を向上させ、無駄のない成膜ができます。

特徴
  • 独自開発の蒸着ボートを採用しています。
  • 蒸着源と被蒸着物の温度差を抑える事ができ、有機物の突沸が少なく、良好な膜が得られます。
  • 指向性が良い蒸着源を採用している為、材料利用効率が優れています。厚膜の成膜にも適しています。
  • 膜厚センサーからの信号を取り込み、自動で成膜レートのコントロールができます（オプション）。
  • 蒸着源のレスポンスが早い為、目的の膜厚が簡単に得られます。
  • 金属と有機物の両方で使用できます。
  • 蒸着後の基板特性を測定する測定エリアの増設が可能です（オプション）。このオプションにより大気に曝すことなくin-situで特性評価ができます。



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