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グローブボックス

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グローブボックスのご案内

グローブボックス・ガス精製装置
グローブボックス、ガス精製装置共に当社オリジナルの設計です。
マスク基板のアライメント機能、測定器の設置等オプションで対応します。 当社蒸着装置、アニール装置、接合装置との接続も対応します。 ガス精製装置付真空グローブボックス ガス精製装置・アライメント付グローブボックス ガス精製装置
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