概要／特長
- シリコンウエハからガラス基板、パネル、部品、材料までさまざまな物のアニール処理にお使いいただけます。
- バッチ式からインライン式までさまざまな真空アニール装置のご提案を行います。
- 100℃程度の低温から900℃以上の高温まで対応したアニール装置を揃えています。
- ガス置換型（Ar、N2、Ar＋N2）にも対応できます。
- 真空引き、加熱動作を自動で行うことが出来ます。
- グローブボックス内で前処理を行った後、アニール処理を行う連続処理装置も取り揃えています。
アニール装置
- VB-1000
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丸型真空槽とクライオポンプ排気系により構成されています。
扉を開けて処理物を真空槽内部に搬入し、高真空にて加熱し脱ガスを行います。
- VB-300
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ガス置換型のアニール装置です。
処理パターンはAr、N2、Ar＋N2の３種類で、最大10kgのワークをアニール処理できます。
- VB-200GB
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グローブボックス付のアニール装置です。
パスボックスから挿入されたウエハとカセットを、真空グローブボックスを経由してベーク室に挿入し、ウエハをベーキングできます。
真空グローブボックスは真空引き後、置換ガスを導入することで大気と隔絶された空間でウエハを処理できます。
- IB-55L
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量産用インライン式真空アニール装置です。
予備加熱室・加熱室・冷却室により構成され、全室高真空排気系を備えています。
搬送トレイへの治具搭載、取り出しが自動で行えます。