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製品案内 product guide

真空装置のご案内

当社は、真空技術を基盤にさまざまな装置を提案しています。
Ｒ＆Ｄから生産装置までさまざまなニーズにお応えしています。

 

接合装置

  • 加熱接合装置
  • 表面活性化接合装置
  • 陽極接合装置
  • 貼り合わせ装置
 
 
 

真空封止装置

  • ベーシックタイプ（ESシリーズ）
  • 連続式真空封止装置（TSシリーズ）
  • インライン真空封止装置（ISシリーズ）
 

有機物蒸着装置

  • グローブボックス付き 有機物用真空蒸着装
  • 材料評価用 有機物用真空蒸着装置
 

グローブボックス・ガス精製装置

  • ガス精製装置付真空グローブボックス
  • ガス精製装置・アライメント付グローブボックス
  • ガス精製装置
 

アニール装置

  • 真空アニール装置
  • バッチ式真空アニール装置
  • インライン真空アニール装置
 

液晶注入装置

  • ディスペンサー式液晶注入装置
  • バッチ式真空封止装置
  • インライン液晶注入装置
 

各種フラットパネルディスプレイ製造装置

  • 試作・開発用　有機EL真空蒸着装置
  • FED排気封止装置
  • PDP封止排気装置
  • FED輝度検査装置
 

各種真空装置

  • 超高真空装置
  • 真空アニール装置
  • 成膜装置
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