特徴
1 シール部は銅ガスケット使用、シールエッジ構造。- 締付トルクが小さい。
- 350℃までのベークアウトが可能。
- 10-8Ｐa以下の真空まで使用可能。
- ディスク交換が可能。
仕様
| 形 式 | ML-03M |
| 使用圧力 | 大気圧～10-8Pa以下 |
| 使用温度範囲 | 0～300℃ |
| リーク量 | 6.7×10-11Pa・ｍ3 / sec以下 |
| コンダクタンス（全開時） | 8.5ℓ / sec |
| 封止トルク | 5～7N・ｍ |
| 接続フランジ | ICF 34 |
| トルクレンチ角ドライブ寸法 | □ 6.35 |
| 要部材質 | 本体：SUS304 シール材：OFC ベローズ：SUS304(成形ベローズ) |
寸法図
対応品のご紹介
