グローブボックス、ガス精製装置共に当社オリジナルの設計です。
マスク基板のアライメント機能、測定器の設置等オプションで対応します。当社蒸着装置、アニール装置、接合装置との接続も対応します。
真空装置からコンポーネントまで開発と製造で多彩な製品を提供
グローブボックス/ガス精製装置
グローブボックス、ガス精製装置共に当社オリジナルの設計です。
マスク基板のアライメント機能、測定器の設置等オプションで対応します。当社蒸着装置、アニール装置、接合装置との接続も対応します。
