アライメント装置の特徴
接合装置と合わせて使用するアライメント装置です。
簡易タイプから自動挿入、自動アライメントまでさまざまなニーズにお答えいたします。
また超高精度サブミクロンアライメント装置も提案しています。
AL-60MSのご紹介
簡易型手動アライメント装置
コストパフォーマンスを追及
陽極接合用アライメント装置です。- 専用ジグを用いて、光学系によりアライメントを行います。
- 機能を限定しコストパフォーマンスを追及。実体顕微鏡によるアライメントを行います。
AL-60Mのご紹介
手動高精度高機能アライメント
CCD光学系によりアライメントを行います。- 可視光タイプから赤外光タイプまで選択できます。
- 自動画像処理オプションも可能です。
AL-60Aのご紹介
完全自動アライメント装置
サブミクロンアライメント対応
カセットtoカセットタイプのアライメント装置。- カセットに挿入された基板の自動アライメントを行います。
- ジグもカセットに挿入し全自動アライメントを行います。
- オプションで接合装置への自動搬送も可能です。