高温領域から常温までの温度域で、基板同士の直接接合から接着剤等の中間材のある接合まで幅広い接合装置をご提案いたします。 …

ギ酸還元もしくは水素還元により、フラックスレスでリフローをおこなうことができます。 また、減圧プロセスのため、ボイドレス…

電子デバイスの気密シールパッケージを行う装置です。 パッケージ内部をガスまたは真空雰囲気に保つことが出来、デバイス特性を…

アライメント装置の特徴 接合装置と合わせて使用するアライメント装置です。 簡易タイプから自動挿入、自動アライメントまでさ…

グローブボックス、ガス精製装置共に当社オリジナルの設計です。 マスク基板のアライメント機能、測定器の設置等オプションで対…

アニール装置の特徴 シリコンウエハからガラス基板、パネル、部品、材料までさまざまな物のアニール処理にお使いいただけます。…

パッチ式液晶注入装置のご紹介 パッチ式の液晶注入装置です。 パネルサイズ、処理量によりさまざまなご提案をいたします。 加…