高温領域から常温までの温度域で、基板同士の直接接合から接着剤等の中間材のある接合まで幅広い接合装置をご提案いたします。
接合の種類
- 常温接合
- 樹脂接合
- 表面活性化接合
- ガラス同士の接合
- 陽極接合
- 共晶接合
- 還元接合
アプリケーション
- ウエハレベルパッケージ
- ジャイロセンサ
- レーザー発振子
- ３次元実装
- 光スイッチ
- ディスプレイ
- 加速度センサ
- 光MEMS
- プローバリングヘッド
- IRセンサ
- μ-TAS
- インクジェットヘッド
- 圧力センサ
- LED
- マイクロモーター
- RFスイッチ
- パワーデバイス
真空装置からコンポーネントまで開発と製造で多彩な製品を提供
接合装置
