特徴
ニューマチック式で開閉する電磁気動式
- ディスクシールのためシールが確実である。
- モータで駆動する。
- コンダクタンスが大きい。
- シャフトシールの寿命が長い。
- コンパクトである。(取付スペースが小さい)
- 手動式と自動式は簡単に交換できる。(互換性あり)
- 逆圧にも使用できる。
仕様
使用圧力 | 大気圧~10-5Pa |
リーク量 | 10-8Pa・m3 / sec |
逆圧(差圧) | 1×105Pa |
本体材質 | SUS304(SCS13) |
ニューマチック式/開閉方式 | 操作空圧 5×105Pa |
フランジ | 真空フランジ JISB-2290 溝なし |
寸法表
型式 | A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N | P | Q | R | S |
BA-2 | 50 | 65 | 100 | 120 | 20 | 55 | 62 | 50 | 13 | 50 | 77.5 | 155 | 2×4-M8 | 65 | 52.9 | 7 | – | 60 |
BA-3 | 75 | 97 | 135 | 160 | 20 | 55 | 85 | 60 | 16 | 60 | 90 | 180 | 2×4-M10 | 97 | 80.7 | 10 | – | 85 |
BA-4 | 96 | 115 | 160 | 185 | 18 | 55 | 95 | 66 | 18 | 65 | 105 | 210 | 2×8-M10 | 115 | 105.3 | 7 | – | 105 |
BA-6 | 142 | 170 | 210 | 235 | 20 | 75 | 120 | 70 | 22 | 77 | 117.5 | 235 | 2×8-M10 | 170 | 155.2 | 15 | – | 153 |
BA-8 | 195 | 215 | 270 | 300 | 40 | 102 | 175 | 115 | 28 | 106 | 150 | 300 | 2×8-M12 | 206 | 204.7 | 12 | 172 | 209 |
BA-10 | 246 | 270 | 320 | 350 | 40 | 109 | 200 | 125 | 34 | 122 | 170 | 340 | 2×12-M12 | 270 | 254.2 | 15 | 197 | 260 |
(注)N・Qはディスク回転時の逃げ寸法です。
備考
アユミ工業のバタフライバルブは二段モーションで開閉するディスクシール方式(押さえ方式)を採用しておりますので絶対の信頼性を誇っており操作面においても簡便さと確実性を供えています。
電動バタフライバルブと当社の電磁式真空弁ALシリーズ又は三方弁PTシリーズを組み合せて使いますと電気だけで完全自動制御ができます。
■用途
- 高真空排気系用
- 低真空排気系用
- 一般の真空装置用