特徴
多用途の真空排気用としてシリーズ化したL型バルブです。- 口径25Ａ・40Ａ・50Ａの本体を接続フランジ、駆動方式により分類。
- 小型でコンダクタンスが大きい。
- 構造が簡単で低価格を実現。
- 各サイズのエアー駆動タイプには、100万サイクルの長寿命タイプの製作可能。
仕様
| 軸シールOリングタイプ | 軸シールベローズタイプ | |
| 使用圧力 | 大気圧～10-5Pa | 大気圧～10-7Pa |
| リーク量 | 6.5×10-9Pa・ｍ3 / sec | 6.5×10-10Pa・ｍ3 / sec |
| 材質 | 固定シール：バイトン 軸シール：リング 本体：SUS304 |
固定シール：バイトン 軸シール：ベローズ 本体：SUS304 |
| 操作エアー圧 | 0.4MPa以上 | 0.4MPa以上 |
寸法表
| 接続フランジ | A | B | C | D | |
| 25A | NW25 | 45 | 45 | 139 | 45 |
| φ90JISフランジ | 60 | 60 | 154 | 45 | |
| 40A | NW40 | 55 | 55 | 172 | 56 |
| φ105JISフランジ | 68 | 68 | 185 | 56 | |
| 50A | NW50 | 65 | 65 | 194 | 65 |
| φ120JISフランジ | 75 | 75 | 204 | 65 |