真空装置からコンポーネントまで開発と製造で多彩な製品を提供

アユミ工業株式会社

超高真空ゲートバルブGMシリーズ

特徴

  • 手動式ゲートバルブ
  • 軸シールに溶接ベローズを使用。
  • 口径は1インチ10インチまで。

仕様

  • 型式 GM
     作動方式 手動
     接続フランジ CF,VFフランジ
     ベークアウト温度 150℃
     リーク量 10-10Pa・m3 / sec以下
     軸シール ベローズ方式
     使用圧力 1.33×105Pa~10-7Pa
     材質

     本体:SUS 304
     弁体:SUS 304
     溶接ベローズ:SUS 304
     弁座パッキング:バイトンOリング

     操作エアー圧

    不要

寸法図

  • CFフランジタイプ寸法図

  • CFフランジタイプ寸法表
型式 A B C D E F G H I J K L
GM-1C 38.0 40.0 15.0 110.0 62.0 203.0 108.0 95.0 39.0 52.9 2×6-M6(深9) 70.0
GM-2C 61.0 80.0 18.5 141.0 64.0 335.0 189.0 146.0 57.0 71.0 2×8-M8(深16) 114.0
GM-4C 96.0 100.0 31.5 172.0 74.0 421.0 216.0 205.0 76.0 78.0 2×16-M8(深19) 152.0
GM-6C 150.0 200.0 52.0 240.0 80.0 653.0 348.0 305.0 95.0 86.0 2×20-M8(深20) 203.0
GM-8C 200.0 315.0 77.0 310.0 100.0 770.0 385.0 385.0 123.0 100.0 2×24-M8(深24) 253.0
GM-10C 250.0 450.0 102.0 360.0 100.0 890.0 430.0 460.0 148.0 106.0 2×32-M8(深27) 305.0

 

  • VFフランジタイプ寸法図

  • VFフランジタイプ寸法表
型式 A B C D E F G H I J K L
GM-1V 35.0 40.0 15.0 110.0 62.0 203.0 108.0 95.0 39.0 43.5 2×4-M8(深8) 90.0
GM-2V 55.0 80.0 18.5 141.0 64.0 335.0 189.0 146.0 57.0 46.0 2×4-M8(深9) 120.0
GM-4V 96.0 100.0 31.5 172.0 74.0 421.0 216.0 205.0 76.0 62.0 2×8-M10(深11) 185.0
GM-6V 150.0 200.0 52.0 240.0 80.0 653.0 348.0 305.0 95.0 66.0 2×8-M10(深11) 235.0
GM-8V 200.0 315.0 77.0 310.0 100.0 770.0 385.0 385.0 123.0 82.0 2×8-M12(深15) 300.0
GM-10V 250.0 450.0 102.0 360.0 100.0 890.0 430.0 460.0 148.0 82.0 2×12-M12(深15) 350.0
079-253-2771

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