ESシリーズは真空封止・封着のためのベーシックシステムです。温度、雰囲気ガスの種類、圧力等の条件変更が容易で、試作や中量多品種生産に適した機種です。
ESシリーズの特徴
- アユミ工業独自のヒーターにより、真空中あるいは任意のガス雰囲気中、短時間で大量のワークを気密封止することが可能です。
- MAX900℃まで加熱できます。
- 独自の加熱方式により良好な温度分布が得られます。
- 必要な部分のみ加熱を行い、歪みが少なく封止できます。
- 生産量に対して床面積が小さく生産性に優れています。
- 封止プロセスが容易に変更できます。
- ランニングコストが安価です。
- 複雑な形状のワークも封止可能です。
- ロット間のバラツキがなく歩留まりが良好です。
ESシリーズのご紹介
作業はヒーター治具にセットされたワークを自動挿入し、真空排気、ヒーター昇温、設定圧力等はプログラム制御により全自動で処理できます。